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Misurazione di film sottili

L'uso dell' interferometria a luce bianca di scansione (SWLI) per studiare i film sottili sta diventando sempre più diffusa nella comprensione degli aumenti nella misurazione. Le tecniche per la misurazione dei film di spessore di 1,5micrometri o maggiore utilizzando l'interferometria sono disponibili da alcuni anni, ma la misurazione di film più sottili rappresenta un'opzione molto più recente.

L'applicazione di una funzione di campo coniugato elicoidale (HCF) ha aperto la possibilità di misurare accuratamente le superfici con film sottili semi-trasparenti, con spessori fino a 20 - 30 nm. Un'estensione emozionante della funzione HCF è la possibilità di studiare davvero la superficie superiore e la rugosità della superficie di interfaccia così come lo spessore del film.

IMG Analisi del film sottile

Con un rivestimento trasparente o una semi pellicola trasparente su una superficie è possibile misurare lo spessore del film utilizzando SWLI se le dotazioni marginali derivanti dalle due superfici possono essere risolte. Questo limita i film più sottili che possono essere misurati con tutta tranquillità tra 1-2 micron a seconda dell'indice di rifrazione del film.

Quando il film è troppo sottile per le dotazioni marginali individuali deve essere utilizzato un approccio differente. Una soluzione è l'applicazione di una funzione HCF ai dati grezzi al fine di estrarre le informazioni sui rivestimenti del film sottile.

Questa tecnica, in combinazione con la conoscenza di alcune delle proprietà ottiche dei materiali, è in grado di calcolare in modo accurato gli spessori dei film sottili , fino ad almeno 20 - 30 nm. La tecnica è in grado di misurare lo spessore del film multistrato.

Superficie superiore e rugosità della superficie interfacciale

Una delle sfide principali dell'interferometria è stata la misurazione della rugosità superficiale quando è presente un film; spesso la rugosità misurata è una combinazione della rugosità della superficie superiore e della rugosità superficiale interfacciale. L'applicazione della funzione HCF a SWLI permette di ottenere la rugosità superficiale in modo accurato. Ciò include l'analisi reale della superficie superiore e l'interfaccia tra il film sottile e il substrato.

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